讲座信息:微电子机械系统(MEMS)

 

报告人:鲍敏杭  教授

时  间:2006年3月28日 9:55

地  点:复旦大学张江校区第二教学楼2101室

 

    在微电子技术出现后不久,人们就在微电子加工技术的基础上发展了微机械加工技术 (Micromachining Technologies)。采用微机械加工技术可以用硅等材料制作出包含有微机械部件的微机械传感器 (Micro Sensors) 和微机械执行器 (Micro Actuators)。

    由于微机械加工技术和微电子技术有较好的相容性。利用它们可以制作出许多将“传感器、微机械执行器和信号处理电路集成在一起的微系统”。一般就称为微电子机械系统 (Micro Electro Mechanical System — MEMS)。

本讲座介绍微机械加工技术、微机械传感器、微机械执行器和典型的微电子机械系统器件及其应用情况。

 

*选修《专题报告》课程的本科生请勿缺席。

 
 

 

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