讲座信息:化学化学气相淀积(CVD)技术

 

报告人:王季陶教授
时 间:2006年3月21日 9:55
地 点:复旦大学张江校区第二教学楼2101室

内容简介:
1. 概况,
2. 化学化学气相淀积 (LPCVD),
3. 选择性 CVD 钨,
4. 低压CVD人造金刚石和现代热力学最新发展。

王季陶(简介)
教授、博士生导师、
中国真空学会薄膜专业委员会委员、
化学气相淀积(CVD)学组组长

 
 

 

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