杨晓峰

复旦大学微电子学院特聘研究员
电话:021-65642389
E-mail:xf_yang@fudan.edu.cn

 

 

主要经历:
1982年9月-1986年8月,长春工业大学电子工程系,获学士学位
1986年9月-1989年1月,东北大学自动控制系,获硕士学位
1989年2月-1993年3月,东北大学自动化研究中心,讲师
1994年4月-1997年3月,日本上智大学机械控制工学,获工学博士学位
1997年4月-2010年9月,日本尼康株式会社精密机器开发本部主任研究员
2011年3月-至今, 复旦大学微电子学院特聘研究员

研究方向:
IC精密装备与测量技术
精密运动与智能控制技术

荣誉和奖励:
1. 1992年获冶金工业部科技进步一等奖;
2. 2010年入选国家千人计划创新人才,获国家特聘专家称号。

在研项目:
1. 国家02重大专项
2. 国家自然科学基金项目“具有双重电机的高加速高精度光刻微动台的驱动技术研究”(项目编号:61274109)

 
 
 
 

 

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